ຜະລິດຕະພັນ

ວົງແຫວນໂຟກັສຊິລິໂຄນຄາໄບ, ຊິ້ນສ່ວນວົງແຫວນທີ່ສໍາຄັນ, ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດເພື່ອປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ wafer etching ໃນ semiconductor plasma etching. ພວກເຂົາເຈົ້າມີຊື່ສຽງສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດຂອງພວກເຂົາໃນການສົ່ງເສີມການແຜ່ກະຈາຍ plasma ເປັນເອກະພາບແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບສະພາບແວດລ້ອມພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ.

Semicorex SiC Wear-resistant Bushing ເປັນເສອແຂນເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງທີ່ອອກແບບມາເພື່ອຄວາມທົນທານທີ່ສຸດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ໃນໄລຍະຍາວໃນລະບົບອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການ. ການເລືອກ Semicorex ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ, ເຄື່ອງຈັກທີ່ກໍາຫນົດເອງທີ່ຊັດເຈນ, ແລະອົງປະກອບເຊລາມິກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສະຫນັບສະຫນູນໂດຍຄວາມຊໍານານເລິກໃນວິສະວະກໍາ SiC ຂັ້ນສູງ.*

Semicorex SiC Seal Rings ແມ່ນຜະລິດໂດຍເຊລາມິກ Silicon Carbide ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເຫມາະສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ. Semicorex ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນເຊລາມິກເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄ່າສູງ, ແລະກໍາລັງຊອກຫາຄວາມສໍາພັນໃນໄລຍະຍາວກັບລູກຄ້າ.*

SiC-coated graphite susceptors MOCVD ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການລະລາຍ vapor ສານເຄມີໂລຫະໂລຫະ (MOCVD), ເຊິ່ງຮັບຜິດຊອບສໍາລັບການຖືແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ substrates wafer. ດ້ວຍການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່າ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິມິຕິ, SiC-coated graphite susceptors MOCVD ຖືກຖືວ່າເປັນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບ epitaxy substrate wafer ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ເອກະສານ Graphite Coated Sic-coated ແມ່ນບັນຈຸທີ່ຈໍາເປັນ, ເຄື່ອງຈັກຜະລິດຊິລິໂຄນ corbide corbide, ສະເຫນີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ. ດ້ວຍການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດຂອງພວກເຂົາແລະຄຸນນະພາບທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖື, ໄມ້ອັດສະລິຍະຂອງ Semicorex

Semicorex Quartz Quipible ສໍາລັບການດຶງໄປເຊຍກັນ Silicon Silyon ແມ່ນເຮັດດ້ວຍຫີນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຊັ້ນໃນແມ່ນມີຄຸນນະພາບສູງແລະຫນາແຫນ້ນທີ່ສຸດເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງໄປເຊຍກັນດຽວ. Semicorex ແມ່ນມືອາຊີບສໍາລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ຖືກດາວທຽມ Quartz ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ໃຊ້ຊິລິໂຄນດ່ຽວທີ່ດຶງເອົາໄປເຊຍກັນດ້ວຍປະສົບການຢ່າງກວ້າງຂວາງ. *