ຜະລິດຕະພັນ

Semicorex SiC epi-wafer susceptors ທີ່ເຮັດຈາກ graphite ເຄືອບ SiC ແມ່ນວິສະວະກໍາເພື່ອໃຫ້ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ອຸນຫະພູມສູງ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສົ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສຸດແລະການບໍລິການທີ່ດີທີ່ສຸດໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າທົ່ວໂລກ. ດ້ວຍຄວາມຊໍານານດ້ານວິຊາການທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ພວກເຮົາຊ່ວຍໃຫ້ຄູ່ຮ່ວມງານທົ່ວໂລກບັນລຸການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະມູນຄ່າໃນໄລຍະຍາວ.*

Semicorex SiC-coated epitaxial susceptors ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ semiconductor epitaxial ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນຢ່າງຫມັ້ນຄົງແລະແກ້ໄຂ wafers semiconductor. ການໃຊ້ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດທີ່ໃຫຍ່ເຕັມຕົວແລະເທກໂນໂລຍີການຜະລິດທີ່ທັນສະໄຫມ, Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຄຸນນະພາບຊັ້ນນໍາຂອງຕະຫຼາດແລະລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ SiC-coated epitaxial susceptors ສໍາລັບລູກຄ້າທີ່ມີຄຸນຄ່າຂອງພວກເຮົາ.

SiC-coated graphite susceptors MOCVD ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການລະລາຍ vapor ສານເຄມີໂລຫະໂລຫະ (MOCVD), ເຊິ່ງຮັບຜິດຊອບສໍາລັບການຖືແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ substrates wafer. ດ້ວຍການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່າ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິມິຕິ, SiC-coated graphite susceptors MOCVD ຖືກຖືວ່າເປັນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບ epitaxy substrate wafer ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

Semicorex SiC Coating Pancake Susceptor ເປັນອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນລະບົບ MOCVD, ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຄວາມທົນທານເພີ່ມຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງວິສະວະກໍາທີ່ໃຫ້ຄຸນນະພາບທີ່ເຫນືອກວ່າ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ, ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງການຜະລິດ semiconductor.*

Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor ເປັນຖາດ graphite ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ tantalum carbide, ໃຊ້ໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ silicon carbide epitaxial ເພື່ອເພີ່ມຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງ wafer. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບເທກໂນໂລຍີການເຄືອບທີ່ກ້າວຫນ້າແລະການແກ້ໄຂທົນທານທີ່ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບ SiC epitaxy ທີ່ດີກວ່າແລະອາຍຸການຍືດເຍື້ອຂອງ susceptor.*

Semicorex ALD Planetary Susceptor ມີຄວາມສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ ALD ເນື່ອງຈາກຄວາມສາມາດທີ່ຈະທົນກັບເງື່ອນໄຂການປຸງແຕ່ງທີ່ຮຸນແຮງ, ຮັບປະກັນການຝາກຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫລາກຫລາຍ. ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນ semiconductor ຂັ້ນສູງທີ່ມີຂະຫນາດຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າແລະການປັບປຸງປະສິດທິພາບຍັງສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ, ການນໍາໃຊ້ ALD Planetary Susceptor ໃນ ALD ຄາດວ່າຈະຂະຫຍາຍອອກໄປຕື່ມອີກ.**