ເຮືອ SiC

ເຮືອ Semicorex SiC ແມ່ນຫັດຖະກໍາຢ່າງພິຖີພິຖັນຈາກເຊລາມິກ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ວັດສະດຸທີ່ສະເຫຼີມສະຫຼອງສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສາມາດປຽບທຽບໄດ້, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກພິເສດ, ແລະ inertness ສານເຄມີ unwavering. ຄຸນນະພາບເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບເງື່ອນໄຂທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງການຜະລິດ semiconductor.

SiC Boats ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ບໍ່ສາມາດປຽບທຽບໄດ້ແລະຄວາມທົນທານ, ເນື່ອງຈາກຄວາມແຂງຂອງວັດສະດຸແລະຄວາມທົນທານພິເສດຕໍ່ການສວມໃສ່. ນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຄວາມໄວສູງໂດຍບໍ່ມີການ succumbing ຄ່ອຍໆສວມໃສ່ແລະ tear. ບໍ່ເຫມືອນກັບວັດສະດຸອື່ນໆ, SiC ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງໃນໄລຍະເວລາ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆແລະຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກໃນການຜະລິດ - ໃນທີ່ສຸດກໍ່ເຮັດໃຫ້ການປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຢ່າງຫຼວງຫຼາຍສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ semiconductor.

ຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີຂອງ SiC ເພີ່ມຄວາມແຂງຕົວຂອງມັນໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຂະບວນການຂອງສານ semiconductor ໂດຍການເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການໂຈມຕີທາງເຄມີຈາກທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາແລະວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປເຊັ່ນ chlorine ແລະ fluorine. ຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຂັ້ມແຂງນີ້ຮັບປະກັນວ່າເຮືອ SiC ບໍ່ປົນເປື້ອນ wafers ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສະຫນັບສະຫນູນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ຖືກ fabricated. ສໍາລັບຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີໃນລະດັບທີ່ສູງຂຶ້ນ, ເຮືອ SiC ສາມາດຖືກເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນເພີ່ມເຕີມຂອງ SiC, ເຮັດໃຫ້ມີອຸປະສັກພິເສດຕໍ່ກັບການໂຈມຕີທາງເຄມີແລະຍົກລະດັບຫນ້າດິນຂອງເຮືອເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ.

ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງເຊລາມິກ SiC ທີ່ໃຊ້ໃນເຮືອເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນ, ຍ້ອນວ່າການຜະລິດ semiconductor ບັງຄັບໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ມີ impurities ຫນ້ອຍ. ເຖິງແມ່ນວ່າປະລິມານການປົນເປື້ອນສາມາດທໍາລາຍຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າຂອງ wafers ແລະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບົກພ່ອງໃນອຸປະກອນສຸດທ້າຍ. ເຮືອ SiC ຖືກອອກແບບມາຈາກເຊລາມິກ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພວກມັນບໍ່ມີສິ່ງປົນເປື້ອນເຂົ້າໄປໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການ, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງແລະສະພາບທີ່ມີປະຕິກິລິຍາປົກກະຕິຂອງການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມບໍລິສຸດນີ້ເຮັດໃຫ້ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງເຮືອ SiC ສໍາລັບຂັ້ນຕອນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນ.

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງເຮືອ SiC ກັບອຸປະກອນ semiconductor ຕ່າງໆແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ. ຄວາມຫຼາກຫຼາຍຂອງ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ມັນຖືກເຄື່ອງຈັກຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດແລະການຕັ້ງຄ່າສະເພາະທີ່ຕ້ອງການໂດຍປະເພດຕ່າງໆຂອງ furnaces semiconductor ແລະເຄື່ອງປະຕິກອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫລາກຫລາຍ, ຈາກການດໍາເນີນງານການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາຂະຫນາດນ້ອຍໄປສູ່ສາຍການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄຸນສົມບັດການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງວັດສະດຸແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ມີປະສິດທິພາບຫຼາຍຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ, ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບແລະຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນ semiconductor.