ເຮືອ SiC

SemicorexSiCເຮືອແມ່ນຜູ້ຖື wafer ເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາວິສະວະກໍາທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍໃນ semiconductor ແລະການຜະລິດ photovoltaic. ອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງເຫຼົ່ານີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການເຮັດໃຫ້ການຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໂດຍການຖື wafers ຊິລິຄອນຢ່າງປອດໄພໃນລະຫວ່າງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ dopants. ເຮືອ SiC ໄດ້ຖືກຮັບຮອງເອົາຢ່າງກວ້າງຂວາງເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ, ລວມທັງຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ເຮັດໃຫ້ມັນຂາດບໍ່ໄດ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຕ້ອງການທາງເຄມີ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ

ເຮືອ SiC ຖືກໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ, ເປັນຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີແລະການຜະລິດເຊນແສງຕາເວັນ. ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາ dopants ເຊັ່ນ phosphorus ຫຼື boron ເຂົ້າໄປໃນ wafers ຊິລິຄອນເພື່ອດັດແປງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງເຂົາເຈົ້າ. ການແຜ່ກະຈາຍຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີເພື່ອຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍ dopant ເປັນເອກະພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງ wafer ສອດຄ່ອງ. ຄວາມສາມາດຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມທົນທານຂອງເຮືອ SiC ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກນີ້, ໂດຍສະເພາະໃນເຕັກໂນໂລຊີ solar cell ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານເຊັ່ນ: N-type TOPCon (Tunnel Oxide Passivated Contact) ແລະຈຸລັງ photovoltaic ຮຸ່ນຕໍ່ໄປອື່ນໆ.

ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນຂອງເຮືອ SiC

ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:

ເຮືອ SiC ແມ່ນຜະລິດດ້ວຍຊິລິໂຄນຄາໄບເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດເຖິງ 86.5%. ນີ້ຮັບປະກັນການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດຂອງ wafers ໃນລະຫວ່າງການແຜ່ກະຈາຍ, ຮັກສາມາດຕະຖານສູງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບວັດສະດຸ semiconductor-grade.

ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນ:

ຊິລິໂຄນຄາໄບການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ເຮືອສາມາດທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາແລະຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງທີ່ອຸນຫະພູມເກີນ 1,000 ອົງສາ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງນີ້ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນທົ່ວວົງຈອນການແຜ່ກະຈາຍຫຼາຍ.

ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ:

ເຮືອ SiC ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ເຖິງແມ່ນວ່າໃນເວລາທີ່ສໍາຜັດກັບອາຍແກັສ dopant reactive ເຊັ່ນ phosphine ແລະ boron trichloride. ຄຸນສົມບັດນີ້ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານໃນໄລຍະຍາວແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.

ວິສະວະກໍາຄວາມຖືກຕ້ອງ:

ການອອກແບບຂອງເຮືອ SiC ເນັ້ນຫນັກໃສ່ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອຮອງຮັບ wafers ຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງຕ່າງໆຢ່າງປອດໄພ. ເຕັກນິກການຜະລິດແບບພິເສດຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບການຈັດການອັດຕະໂນມັດ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບໃນການດໍາເນີນງານໃນສາຍການຜະລິດທີ່ມີຄວາມໄວສູງ.

ຄວາມທົນທານ ແລະອາຍຸຍືນ:

ເຮືອ SiC ມີລັກສະນະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ພິເສດ, ເຊິ່ງຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການຂອງພວກເຂົາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບວັດສະດຸອື່ນໆ. ຄວາມທົນທານນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າການປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສໍາລັບຜູ້ຜະລິດໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ.

ຕົວເລືອກການປັບແຕ່ງ:

ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງຜູ້ຜະລິດ semiconductor ແລະ photovoltaic, ເຮືອ SiC ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ໃນດ້ານຂະຫນາດ, ຄວາມອາດສາມາດຂອງ wafer, ແລະການອອກແບບສະເພາະ. ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນນີ້ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບການແຜ່ກະຈາຍແລະຂະບວນການສະເພາະ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງເຮືອ SiC ໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ

ເຮືອ SiC ສະເຫນີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ແຕກຕ່າງຈາກວັດສະດຸພື້ນເມືອງເຊັ່ນ quartz ຫຼື graphite:

ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ:

ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງຊິລິຄອນຄາໄບຫຼຸດຜ່ອນການປ່ອຍຂອງ impurities ທີ່ສາມາດປະນີປະນອມຄຸນນະພາບຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການກະຈາຍ.

ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂະບວນການ:

ການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງ SiC ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວ wafers ທັງຫມົດ, ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການແຜ່ກະຈາຍ dopant ແລະຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງ.

ປັບປຸງຄວາມປອດໄພ ແລະຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື:

ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງ SiC ແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການດໍາເນີນງານທີ່ປອດໄພກວ່າແລະຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືຫຼາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມການແຜ່ກະຈາຍທີ່ຕ້ອງການ.

ຄວາມຍືນຍົງ:

ອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວນານຂອງເຮືອ SiC ຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອແລະສະຫນັບສະຫນູນການປະຕິບັດການຜະລິດແບບຍືນຍົງຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ Beyond Diffusion

ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍເປັນຕົວແທນຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍຂອງເຮືອ SiC, ຄຸນສົມບັດທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງພວກມັນເຮັດໃຫ້ພວກມັນເຫມາະສົມກັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະທາງເຄມີອື່ນໆ, ລວມທັງ:

• Oxidation ແລະ annealing ໃນການຜະລິດ semiconductor.
• ຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງໆ.
• ຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນການຜະລິດຈຸລັງ photovoltaic ກ້າວຫນ້າ.

ເຮືອ SiC ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ, ເຮັດໃຫ້ການຜະລິດທີ່ຊັດເຈນແລະເຊື່ອຖືໄດ້ຂອງອຸປະກອນ semiconductor ແລະ photovoltaic. ດ້ວຍຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ບໍ່ກົງກັນ, ຄວາມທົນທານ, ແລະທາງເລືອກໃນການປັບແຕ່ງ, ຜູ້ຖື wafer ເຊລາມິກ silicon carbide ເຫຼົ່ານີ້ກໍານົດມາດຕະຖານໃຫມ່ສໍາລັບການປະຕິບັດໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຕ້ອງການທາງເຄມີ. ເຮືອ SiC ຂອງ Semicorex ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາທີ່ພັດທະນາ, ໃຫ້ຜູ້ຜະລິດມີເຄື່ອງມືທີ່ພວກເຂົາຕ້ອງການເພື່ອສືບຕໍ່ເດີນຫນ້າໃນຕະຫຼາດທີ່ມີການແຂ່ງຂັນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ.