ເຮືອສຸພາສິດ sicicorex sic ສະຫນອງການປະສົມປະສານທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຕ້ອງການຂອງການປະມວນຜົນທີ່ເຂັ້ມງວດໃນການປຸງແຕ່ງ wafer semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ. *
ບັນດາເຮືອສຸພາສິດ semicorex ແມ່ນຜູ້ຂົນສົ່ງທີ່ມີສິລະປະພິເສດໄດ້ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດທີ່ຈະຂົນສົ່ງ, ເກັບຮັກສາແລະປະມວນຜົນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຮູ້ສຶກທີ່ສຸດໃນດ້ານວິຊາການ. ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ໄດ້ຮັບຮອງເອົາເຮືອປະຕິບັດງານໃຫມ່ທີ່ສາມາດເຊື່ອຖືໄດ້ຢ່າງໄວວາ, ມີຄວາມໄວ້ວາງໃຈ, ແລະບໍ່ມີຄວາມຮຽກຮ້ອງຕ້ອງການສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດ wafer ທີ່ທັນສະໄຫມ.
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ເຂັ້ມແຂງ
ຄຸນລັກສະນະທີ່ກໍານົດຂອງເຮືອ sic ceramic ແມ່ນສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງ. ເຮືອ Sic ceramic ສາມາດອົດທົນໄດ້ອຸນຫະພູມເກີນ 1600 ° C ໂດຍບໍ່ຕ້ອງເສຍຮູບຊົງຫຼືໂຄງສ້າງຂອງພວກເຂົາໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂີ່ລົດຖີບຄວາມຮ້ອນ. ເນື່ອງຈາກຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຕໍ່າ, Sic ceramic ມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະບິດເບືອນແລະແຕກ, ອະນຸຍາດໃຫ້ມີຄວາມທົນທານແຫນ້ນແລະມີຄວາມປອດໄພໃນລະຫວ່າງສະພາບທີ່ແຂງ.
ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີ
ເຮືອ Sic ceramic ແມ່ນຖືກຜະລິດອອກຈາກ Silicon Poulity ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ເຮືອ Sic ceramic ຍັງມີຄວາມຕ້ານທານກັບການເຊື່ອມໂຊມຂອງສານເຄມີ, ເປັນໂຣກ corrosnive, ແລະການເຊາະເຈື່ອນ. ຄວາມບໍ່ມີລັກສະນະຂອງເຮືອທີ່ເຮັດດ້ວຍທາດກາເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມຫມາຍວ່າສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ສະພາບອາຊິດຈະບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຫຼືບໍ່ມີຫຍັງເລີຍທີ່ຈະທໍາຮ້າຍຂະບວນການເຮັດວຽກ. ພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ແມ່ນການປົນເປື້ອນຂອງເຮືອ SIC
ວິສະວະກໍາທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບການຈັດການທີ່ປອດໄພແລະປອດໄພ
ເຮືອ Sic ceraMan ແມ່ນຜະລິດຢູ່ໃນຄວາມທົນທານດ້ານໃກ້ໆ, ໃຫ້ພວກມັນສາມາດຈັດການກັບ wafers ຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງຕ່າງໆ, ລວມທັງ 100 ມມ, 200 ມມ, 300 ມມ, 300 ມມ, ແລະອື່ນໆ. ການອອກແບບທີ່ມີໂຄງສ້າງຂອງເຮືອ SIC ໃຫ້ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ, ຂະຫນານ, ແລະຂະຫນາດສະລັອດຕິງທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອຮັກສາເສັ້ນທາງທີ່ເຫມາະສົມແລະປ້ອງກັນຂອບຂອງ wafer ໃນເວລາທີ່ໂອນເຂົ້າຂັ້ນຕອນຫຼືເຄື່ອງມືອື່ນ. ເຮືອ SIC ທັງຫມົດສາມາດຖືກອອກແບບດ້ວຍຂະຫນາດທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອໃຫ້ກົງກັບເຄື່ອງມືທີ່ຕັ້ງຫຼືຕອບສະຫນອງຄວາມສະເພາະດ້ານອັດຕະໂນມັດ.
ຕະຫຼອດຊີວິດຍາວແລະມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼາຍ
Sic ແທນວັດສະດຸພື້ນເມືອງ (Quartz, Alumina) ດ້ວຍການປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງກົນຈັກທີ່ເຂັ້ມຂົ້ນ, ກະດູກຫັກຄວາມເຄັ່ງຕຶງແລະຄວາມຕ້ານທານຊ shock ອກ. ລະດັບຄວາມທົນທານໃນລະດັບນີ້ຫມາຍເຖິງອາຍຸຍືນກວ່າເກົ່າກ່ອນ "ຄວາມລົ້ມເຫຼວ," ການທົດແທນຫນ້ອຍກວ່າໃນລະຫວ່າງການດໍາເນີນງານ, ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງການເປັນເຈົ້າຂອງ. ຄວາມສອດຄ່ອງໃນການປະຕິບັດງານຈາກຄວາມແຂງແຮງຂອງ SIC ຈະຫຼຸດລົງເວລາແລະເລັ່ງການຜ່ານທາງການຜະລິດທີ່ມີ semiconductor.
ເປີດໂປແກຼມຕ່າງໆໃນຂະບວນການ semiconductor
ເຮືອ Sic ceramic ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການ semiconductor ທາງຫນ້າເຊັ່ນ:
ເງິນຝາກ LPCVD ແລະ Pecvd
ການຜຸພັງຄວາມຮ້ອນ
implantation ion
annealing ແລະການແຜ່ກະຈາຍ
ທໍາຄວາມສະອາດ Wafer ແລະການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ
ການຈັດການ sic ມີໂປແກຼມປະມວນຜົນທີ່ເຫມາະສົມໃນທັງຫ້ອງໂຖງແລະຫ້ອງໂຖງທີ່ເຫມາະສົມທີ່ສຸດສໍາລັບການສ້າງຄວາມສ່ຽງແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນ.