SiC Chuck

ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການກັດກ່ອນສານເຄມີ, Semicorex SiC Chuck ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ເຫນືອກວ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການ.

SiC chucks ມີປະສິດຕິຜົນ dissipate ຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງ wafers semiconductor. ຄວາມທົນທານຂອງຊິລິໂຄນ carbide ປະກົດຂຶ້ນໃຫ້ຄວາມທົນທານພິເສດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງກົນຈັກຫຼື deformation ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນສູງ. ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີແລະອາຊິດສ່ວນໃຫຍ່, SiC chucks ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ພວກມັນອາດຈະຖືກສໍາຜັດກັບສານທີ່ຮຸນແຮງ, ດັ່ງນັ້ນການຍືດອາຍຸການດໍາເນີນງານຂອງພວກເຂົາ. ດ້ວຍຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, SiC chucks ຮັກສາຮູບຮ່າງແລະຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຮັບປະກັນການຈັດການຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງ wafers ທີ່ລະອຽດອ່ອນ.

ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD), ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີແມ່ນສໍາຄັນ.

Semicorex SiC Chucks ແມ່ນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະແຫນງການຜະລິດທີ່ກ້າວຫນ້າ, ບ່ອນທີ່ຄຸນສົມບັດທີ່ດີກວ່າຂອງພວກເຂົາປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ປະສິດທິພາບການດໍາເນີນງານເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາຫຼຸດລົງ.