SiC Coated Barrel Susceptor ສໍາລັບ Wafer Epitaxial

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor ສໍາລັບ Wafer Epitaxial ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບການນໍາໃຊ້ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກດຽວ, ຍ້ອນຫນ້າດິນຮາບພຽງພິເສດແລະການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive ສະພາບແວດລ້ອມ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຊອກຫາຕົວຍຶດ graphite ທີ່ມີການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນ? ເບິ່ງບໍ່ເກີນກວ່າ Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor ສໍາລັບ Wafer Epitaxial, ເຄືອບດ້ວຍ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າໃນຂະບວນການ epitaxial ແລະການນໍາໃຊ້ການຜະລິດ semiconductor ອື່ນໆ.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ. SiC Coated Barrel Susceptor ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບ Wafer Epitaxial ມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາແລະຖືກສົ່ງອອກໄປຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາຫຼາຍ. ພວກເຮົາມີຈຸດປະສົງເພື່ອເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສອດຄ່ອງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.

ຕົວກໍານົດການຂອງ SiC Coated Barrel Susceptor ສໍາລັບ Wafer Epitaxial

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນນະສົມບັດຂອງ SiC Coated Barrel Susceptor ສໍາລັບ Wafer Epitaxial

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.

- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.

- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.

- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.