ເຮືອ Sic ຕັ້ງ

ເຮືອທີ່ມີແນວຕັ້ງ semicorex sical ແມ່ນຜູ້ຂົນສົ່ງ Wafer, ຖືກອອກແບບແລະຜະລິດເພື່ອໃຫ້ມີສະຖຽນລະພາບສູງສຸດ, ກົນຈັກການປຸງແຕ່ງເຄື່ອງຈັກຕັ້ງ semiconductor. ການກໍ່ສ້າງຂອງຄວາມບໍລິສຸດສູງCarbide Silicon, ພວກເຮົາເຊື່ອວ່າພວກເຂົາແມ່ນຄວາມດຸ່ນດ່ຽງທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມຫມັ້ນໃຈສໍາລັບການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຂອງ Wafer, ໄດ້ຮັບການຍົກເວັ້ນ, ແລະ annealing ໃນລະບົບເຕົາໄຟຕັ້ງ.

ສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງເຕົາໄຟຕັ້ງຕ້ອງມີລະບົບການສະຫນັບສະຫນູນ Wafer ທີ່ສາມາດຕ້ານທານໄດ້ຊ້ໍາໃນອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຍັງຄົງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໂດຍບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ. ເຮືອ SICLE ທີ່ດີເລີດໃນຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພວກເຂົາໃນສະຖານະການເຫຼົ່ານີ້ເພາະວ່າມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກແລະຄວາມຮ້ອນຂອງຊິລິໂຄນທີ່ສະສົມຫຼື cvd carbide. ຕົວຄູນຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າທີ່ສຸດຂອງພວກເຂົາຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນຫຼືການບິດເບືອນເນື່ອງຈາກການຂີ່ລົດຖີບຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ, ສະຫນອງຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ມີອຸນຫະພູມໃນທ້ອງຖິ່ນທີ່ສຸດໃນທຸກບ່ອນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຄວາມຫນາຂອງ Wafer-to-Wafer, Doping Profiless, ແລະການປະຕິບັດໄຟຟ້າ; ລັກສະນະສໍາຄັນຂອງການຜະລິດທີ່ມີປະລິມານສູງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບເຮືອລໍາພັນພື້ນເມືອງ, ເຮືອ Sic ຕັ້ງສົ່ງເຄື່ອງກົນຈັກທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ຂະຫຍາຍ. quartz ມັກຈະກາຍເປັນ brittle ແລະຫລີກລ້ຽງໃນໄລຍະເວລາ, ໂດຍສະເພາະໃນ checkeristries ເຕົາອົບທີ່ຮຸກຮານ, ເຮັດໃຫ້ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນທີ່ສູງກວ່າແລະການລົບກວນການຜະລິດທີ່ມີທ່າແຮງ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຊິລິໂຄນ Carbide ຮັກສາຄວາມຊື່ສັດຂອງມັນແມ່ນແຕ່ການສໍາຜັດກັບທາດອາຍທີ່ເປັນເວລາດົນນານເຊັ່ນ: chlorine, ຫຼື ammonia, ເຊິ່ງມີຢູ່ທົ່ວໄປໃນຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການ. ການໃສ່ຊຸດທີ່ມີການເພີ່ມເຕີມແລະການຜຸພັງຫຼຸດຜ່ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ

ເຮືອ SICLE ຍັງສະເຫນີຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນໃນແງ່ຂອງການປຸງແຕ່ງທີ່ສະອາດ ultra. ອຸປະກອນການປະລິມານທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແມ່ນປຸງແຕ່ງພາຍໃຕ້ຄວາມພາກພຽນທີ່ເປັນຕົວຢ່າງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນໂລຫະປະສົມທີ່ເປັນຕົວຕົນທີ່ສາມາດແຊກແຊງລັກສະນະໃນການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ຫນ້າດິນ SIC SIC ແມ່ນສໍາເລັດຮູບດີດ້ວຍຄຸນລັກສະນະທີ່ມີມຸມຂວາເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ໂອກາດຫຼຸດຜ່ອນໂອກາດຂອງຈຸລິນຊີທີ່ຫຼົ່ນລົງ. ພື້ນຜິວຂອງ SIC ແມ່ນທາດບໍາລຸງ MIGORIAL ແລະຢ່າປະຕິກິລິຍາກັບທາດອາຍຜິດແລະດັ່ງນັ້ນຈິ່ງມັກຈະປົນເປື້ອນ. ໃນດ້ານນີ້, Sicon ຕັ້ງແມ່ນເຫມາະສົມທີ່ສຸດສໍາລັບເສັ້ນທາງດ້ານຫນ້າ

ເຮືອ Sic ຕັ້ງຍັງສະເຫນີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໃນການອອກແບບ. ແຕ່ລະເຮືອຕັ້ງຢູ່ໃນແນວຕັ້ງສາມາດເຮັດໃຫ້ເສັ້ນຜ່າກາງ waferm ຫຼາຍ (150 ມມ, 200 ມມ, 200 ມມຫຼືຈໍານວນ 300 ມມ) ແລະສະຫນາມກິລາ ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະການຄວບຄຸມມິຕິອະນຸຍາດໃຫ້ມີຄວາມສອດຄ່ອງ wafer ແລະ wafer ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງຮອຍຍິ້ມຈຸນລະພາກຫຼືຄວາມກົດດັນໃນລະຫວ່າງການໂຫຼດ, ການປຸງແຕ່ງແລະການຍົກຍ້າຍ. ນອກຈາກນີ້, ຖ້າມີຄວາມເປັນເອກະພາບກ່ຽວກັບອຸນຫະພູມທີ່ເຫນືອກວ່າສໍາລັບຂະບວນການສະເພາະໃດຫນຶ່ງ, ເລຂາຄະນິດທີ່ດີທີ່ສຸດແລະການອອກແບບສະລັອດຕິງແລະການອອກແບບສະລັອດຕິງທີ່ເຫມາະສົມ, ໂດຍບໍ່ໄດ້ເສຍຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນກົນໄກໃດໆ.

ປະໂຫຍດອີກອັນຫນຶ່ງແມ່ນການບໍາລຸງຮັກສາແລະປະສິດທິພາບໃນການປະຕິບັດງານ. ການກໍ່ສ້າງ rigid ຂອງSicເຮືອແນວຕັ້ງຫຼຸດຜ່ອນເວລາແລະຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ, ເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານຫນ້ອຍທີ່ສຸດຫຼືຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການເປັນເຈົ້າຂອງ. ຄວາມຕ້ານທານຊ shock ອກຄວາມຮ້ອນຂອງ SIC ອະນຸຍາດໃຫ້ສໍາລັບຮອບວຽນສັ້ນກວ່າແລະຄວາມເຢັນເພື່ອສົ່ງຜ່ານສາຍທີ່ສູງຂື້ນໃນສາຍການຜະລິດ. ການບໍາລຸງຮັກສາຫຼືການເຮັດຄວາມສະອາດຂອງເຮືອ Sic ຕັ້ງແມ່ນຍັງງ່າຍດາຍຫຼາຍ; ເອກະສານດັ່ງກ່າວສາມາດອົດທົນກັບຂະບວນການເຮັດຄວາມຊຸ່ມທີ່ຊຸ່ມຊື້ນທີ່ສຸດໃນບັນດາຕົວປະກອບອາຊິດ semiconductor ເຊັ່ນ: ສານເຄມີແລະອົບອຸນຫະພູມສູງ.

ໃນຍຸກສະໄຫມໃຫມ່ຂອງການປະດິດແຕ່ງ semiconductor ທີ່ມີຄວາມຊັບຊ້ອນເຊິ່ງໄດ້ຮັບຜົນຜະລິດ, ການຄວບຄຸມການຄວບຄຸມແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງເຮືອທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນ, ເຮືອ Sic ຕັ້ງຢູ່ໃນປະໂຫຍດທີ່ແທ້ຈິງ. ພວກເຂົາຈັດການກັບສິ່ງທ້າທາຍທາງດ້ານຮ່າງກາຍແລະສານເຄມີຂອງໂປແກຼມເຟີນີເຈີຕັ້ງແລະປະກອບສ່ວນໃຫ້ມີການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການໂດຍລວມໂດຍການສົ່ງຜົນໃຫ້ມີຄວາມສັດຊື່, ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ສອດຄ່ອງແລະມີຊີວິດອີກຕໍ່ໄປຂອງອຸປະກອນ.