ເຮືອ SiC Wafer

ເຮືອ Semicorex SiC Wafer, ຫັດຖະກໍາຈາກ Silicon Carbide (SiC) ceramic, ນໍາພາທາງໃນການຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ໂດຍການສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ບໍ່ມີການປຽບທຽບໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ຍູ້ດັນຂອບເຂດຂອງ microfabrication ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຄວາມຕ້ອງການວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມທົນທານແລະແຂງແຮງກາຍເປັນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດ.

ເຮືອ SiC Wafer ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຖືແລະສະຫນັບສະຫນູນ wafers ຫຼາຍໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຄວາມຮ້ອນເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການເຮັດໃຫ້ wafers ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດ, ມັກຈະເກີນ 1000 ° C, ໃນບັນຍາກາດຄວບຄຸມ. ຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ກໍາລັງຜະລິດ. ຄວາມສາມາດຂອງເຮືອ SiC Wafer ທີ່ຈະທົນກັບອຸນຫະພູມສູງດັ່ງກ່າວໂດຍບໍ່ມີການ deformation ຫຼືການເຊື່ອມໂຊມຮັບປະກັນວ່າ wafers ໄດ້ຖືກປຸງແຕ່ງເປັນເອກະພາບ, ນໍາໄປສູ່ການຜົນຜະລິດອຸປະກອນທີ່ດີກວ່າແລະປະສິດທິພາບ.

ການນໍາຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງເຮືອ wafer SiC ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃນທົ່ວ wafers ທັງຫມົດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງ gradient ອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມບົກຜ່ອງຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າຂອງ SiC (CTE) ສົ່ງຜົນໃຫ້ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການຫົດຕົວໜ້ອຍທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງຮອບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການປ້ອງກັນຄວາມກົດດັນກົນຈັກແລະຄວາມເສຍຫາຍທີ່ອາດຈະເກີດຂຶ້ນກັບ wafers, ໂດຍສະເພາະແມ່ນການຫົດຕົວເລຂາຄະນິດຂອງອຸປະກອນ.

ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຄວາມຮ້ອນ, wafers ໄດ້ຖືກສໍາຜັດກັບທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາຕ່າງໆທີ່ສາມາດພົວພັນກັບວັດສະດຸຂອງເຮືອ wafer SiC. ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດຂອງ SiC ຮັບປະກັນວ່າມັນບໍ່ປະຕິກິລິຍາກັບອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງ wafers. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າ, ບ່ອນທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າຈໍານວນການປົນເປື້ອນສາມາດນໍາໄປສູ່ການຜິດປົກກະຕິແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ.