ເຄື່ອງຈັກຜະລິດແບບ Semicorex Sic ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຄື່ອງມືທີ່ມີຄວາມລະອຽດພ້ອມທີ່ຈະຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະຫນອງການຜະລິດ semiconduor ທີ່ເຂັ້ມງວດ. Semicorex ສະຫນອງວິທີແກ້ໄຂທີ່ສ້າງຂຶ້ນເພື່ອຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ຄວາມສະອາດ, ແລະການຮັບປະກັນການຂົນສົ່ງທີ່ປອດໄພແລະການປຸງແຕ່ງຂອງ wafers ແລະການປຸງແຕ່ງຂອງ wafers ພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ
sicicorex sic cassette wafer, ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມທີ່ສຸດໃນເຮືອທີ່ມີກະແສ, ໄດ້ຖືກພັດທະນາໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜຸພັງ, ແລະການປະຕິບັດງານ anningratures ໃນ 1200 ° C. The Cassettes ໃຫ້ການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານກົນຈັກທີ່ສໍາຄັນ, ພ້ອມທັງຄວາມສອດຄ່ອງສໍາລັບທຸກຄົນໃນເວລາດຽວກັນໃນລະຫວ່າງການໃຊ້ເຕົາອົບອຸນຫະພູມ, ແລະມີສະຖຽນລະພາບກົນຈັກສູງໃນລະຫວ່າງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນແລະຫລັງຈາກນັ້ນ. ຄວາມຕ້ອງການຂອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ສຸດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງສໍາລັບລະບົບການຈັດການ Wafer ກໍາລັງເພີ່ມຂື້ນໃນຂະນະທີ່ອຸປະກອນ semiconductor ຫຼຸດລົງໃນການປະຕິບັດ.
The Cassette ແມ່ນຜະລິດຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງCarbide Silicon, ນອກນັ້ນຍັງມີການເຄືອບທີ່ສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບຜົນປະໂຫຍດທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ກວ່າເກົ່າເຊັ່ນກັນ. Sic ມີອາການຊ shock ອກທີ່ດີເລີດ, ການກັດກ່ອນ, ແລະສະຖຽນລະພາບທີ່ຜິດປົກກະຕິ. Sic ມີຄວາມແຂງກະດ້າງ, ຄວາມບໍ່ສະອາດ, ແລະຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນເຊັ່ນ: ອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມໃນຂະບວນການນີ້. Sic, ພີ່ນ້ອງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບ Quartz ແລະ Alumina Properties ຄຸນລັກສະນະຂອງມັນໃນອຸນຫະພູມປຸງແຕ່ງແລະປັບປຸງໃຫ້ດີຂື້ນໃນຂະບວນການຜະລິດໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ.
ຄວາມເປັນບໍລິສຸດສູງສຸດຂອງ SIC ຂອງ Sic Wafer Cassette ວາງສະແດງຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ກັບໂລຫະຫຼືສານປົນເປື້ອນ ionic ຫຼື ionic ເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງປະມວນຜົນ; ບາງສິ່ງບາງຢ່າງທີ່ຈໍາເປັນແທ້ໆສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດປະຈໍາຕົວແບບ semiconductor. ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນແຫລ່ງທີ່ມາຂອງ carbide carbide carbide ຈະເພີ່ມຜົນຜະລິດທີ່ມີຜົນໃຫ້ດີແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ.
ເຕັກໂນໂລຍີນໍ້າເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ semicorex ອະນຸຍາດໃຫ້ມີແຕ່ລະແຜ່ນທີ່ຈະຜະລິດດ້ວຍຄວາມທົນທານແຫນ້ນ, ມີສະລັອດຕິງລີດ, ແລະຈັດລຽງລໍາດັບຂະຫນານ. ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງວັດສະດຸທີ່ສະຫນັບສະຫນູນການໂຫຼດແລະຍົກເວັ້ນ, ເຊິ່ງຈະຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນໂອກາດທີ່ຈະຂູດໃນຂະນະທີ່ຈັດການກັບ Wafers. ຊ່ອງຫວ່າງຂອງລະດັບສະລັອດຕິງທີ່ຊັດເຈນຊ່ວຍໃຫ້ອຸນຫະພູມແລະອາກາດເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວທຸກຄົນ, ເຊິ່ງສົ່ງເສີມຄວາມເປັນເອກະພາບໃນຂະນະທີ່ການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການປ່ຽນແປງ.
Sic ມີຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ສະຖຽນລະພາບມິຕິ, ແລະໃຫ້ການປະຕິບັດທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືພາຍໃຕ້ຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາ. ເອກະສານດັ່ງກ່າວແມ່ນຫມັ້ນຄົງແລະບໍ່ມີຄວາມສົງຄາມຫຼືແຕກ; ຄວາມແຂງຕົວສູງຂອງມັນຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງພື້ນທີ່ໃນໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານໃນຂະນະທີ່ຈໍາກັດຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງອະນຸພາກທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຈາກການດຶງດູດຄວາມວຸ້ນວາຍຫຼືການສັ່ນສະເທືອນ.
ນອກຈາກນັ້ນ,Sicຄວາມບໍ່ມີຕົວຕົນຂອງສານເຄມີປົກປ້ອງບັນຍາກາດຈາກປະຕິກິລິຍາຕໍ່ກັບທາດອາຍຜິດ (isg. ອົກຊີເຈນ, ອາໂມນຽມ) ມີສ່ວນຮ່ວມໂດຍປົກກະຕິໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ. The Wafer Cassettes ແມ່ນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນການຜຸພັງແລະບໍ່ໄດ້ຮັບການເບິ່ງຂ້າມບັນຍາກາດໃນການເຮັດວຽກໃນຈໍານວນຂະບວນການ, ການແຜ່ກະຈາຍ, LPCVD, ແລະ annealing.
ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຮຽກຮ້ອງຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສະເພາະ, semicorex ສະເຫນີ cassettes sic ທີ່ກໍານົດໄວ້ໃນຂະຫນາດຕ່າງໆ, ສະລັອດຕິງນັບ, ແລະການຕັ້ງຄ່າ. ແຕ່ລະຫນ່ວຍໄດ້ຮັບການກວດກາດ້ານຫນ້າທີ່ເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະອາດ, ຄວາມສະອາດ, ແລະຄວາມຖືກຕ້ອງມິຕິ. ການສອນດ້ານດ້ານເທິງຂອງພື້ນທີ່ເພີ່ມຂື້ນຕື່ມອີກລຸ້ນຫນຶ່ງຂອງການຜະລິດອະນຸພາກແລະຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບການຈັດການທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່.