ເຮືອ Silicon Carbide

Semicorex Silicon Carbide Boat ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການກະຈາຍສານ semiconductor. ຜະລິດຕະພັນນີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງຄວາມທົນທານທີ່ດີກວ່າ, ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການ. ເຮືອ Silicon Carbide ແມ່ນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາເຊັ່ນ photovoltaics, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ semiconductors, ບ່ອນທີ່ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive.

ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບ

ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຕ້ານທານກັບອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ

Silicon Carbide (SiC) ແມ່ນມີຊື່ສຽງສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ. ເຮືອ SiC ສາມາດທົນຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນ furnaces ການແຜ່ກະຈາຍ semiconductor ບ່ອນທີ່ອຸນຫະພູມມັກຈະເກີນ 1000 ° C. ຄວາມສາມາດຂອງວັດສະດຸທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາແລະຄວາມເຢັນຮອບວຽນໂດຍບໍ່ມີການແຕກຫຼື warping ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງຕະຫຼອດການຜະລິດຍາວ.

ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະຄວາມທົນທານ

ວັດສະດຸ SiC ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງ. ເຮືອຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງເຖິງແມ່ນວ່າຫຼັງຈາກການສໍາຜັດກັບສະພາບທີ່ເປັນຮອຍຂີດຂ່ວນເປັນເວລາດົນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນເວລາທີ່ການຈັດການ wafers semiconductor ທີ່ລະອຽດອ່ອນ. ຄວາມທົນທານຂອງມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ, ສະຫນອງການປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນໄລຍະຍາວແລະຫຼຸດຜ່ອນເວລາ downtime ໃນຂະບວນການຜະລິດ.

ການກັດກ່ອນແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ

ຂະບວນການ semiconductor ມັກຈະມີການສໍາຜັດກັບອາຍແກັສທີ່ຮຸກຮານແລະສານເຄມີ. ເຮືອ SiC ດີເລີດໃນການຕ້ານການກັດກ່ອນຈາກສານເຫຼົ່ານີ້, ລວມທັງສານຕ້ານອະນຸມູນອິສະລະທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະສານເຄມີປະຕິກິລິຍາທີ່ໃຊ້ໃນການແຜ່ກະຈາຍແລະຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ອື່ນໆ. ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນນີ້ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານຂອງເຮືອແລະປົກປ້ອງມັນຈາກການເຊື່ອມໂຊມ, ຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ຖືກປຸງແຕ່ງ.

ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ທີ່​ດີກ​ວ່າ​ແລະ dissipation​

SiC ແມ່ນຕົວນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນການຮັກສາການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າດິນຂອງເຮືອ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຈຸດຮ້ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ແລະຮັບປະກັນຂະບວນການເຮັດຄວາມຮ້ອນສໍາລັບ wafers semiconductor. ໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ semiconductor, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ຕ້ອງການຂອງ wafers. ຄຸນສົມບັດການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ສອດຄ່ອງ, ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.

ຄວາມອາດສາມາດບັນຈຸສູງ

ຫນຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເຮືອ Silicon Carbide ແມ່ນຄວາມສາມາດທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ການໂຫຼດສູງໂດຍບໍ່ມີການ warping ຫຼື deforming. ຄວາມ​ສາ​ມາດ​ຮັບ​ຜິດ​ຊອບ​ສູງ​ນີ້​ເປັນ​ສິ່ງ​ຈໍາ​ເປັນ​ໃນ​ເວ​ລາ​ທີ່​ເຮືອ​ແມ່ນ​ບັນ​ທຸກ wafers semiconductor ຫຼາຍ​ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ຂະ​ບວນ​ການ​ແຜ່​ກະ​ຈາຍ​. ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນວ່າ wafers ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຕະຫຼອດຂະບວນການ, ປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍທີ່ອາດເກີດຂື້ນແລະຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ລຽບແລະມີປະສິດທິພາບຂອງເຕົາ.

ການບໍ່ເປັນຮູບຮ່າງແລະຊີວິດການບໍລິການຍາວ

ເຮືອ SiC ແມ່ນວິສະວະກໍາສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ຍາວນານ. ບໍ່ເຫມືອນກັບວັດສະດຸອື່ນໆ, SiC ບໍ່ໄດ້ບິດເບືອນຫຼືງໍພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງຫຼືການໂຫຼດຫນັກ, ເຖິງແມ່ນວ່າຫຼັງຈາກການນໍາໃຊ້ຍາວ. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ຂະຫຍາຍຊີວິດຂອງອົງປະກອບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງເຮືອຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການຜິດປົກກະຕິແປເປັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຊ້ໍາຊ້ອນໃນໄລຍະການຜະລິດຫຼາຍພັນຮອບ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ semiconductor.

ຄວາມຕ້ານທານ plasma ໄຟຟ້າ

ໃນຂະບວນການ semiconductor ເຊັ່ນການແຜ່ກະຈາຍ, wafers ມັກຈະສໍາຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມ plasma. ເຮືອ Silicon Carbide ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການລະເບີດຂອງ plasma, ປ້ອງກັນການເຊື່ອມໂຊມຂອງປະຕິສໍາພັນ plasma ໄຟຟ້າ. ຊັບສິນນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບພາກສະຫນາມ plasma ທີ່ມີພະລັງງານສູງ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າເຮືອຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງມັນແລະສືບຕໍ່ປະຕິບັດຢ່າງຫນ້າເຊື່ອຖື.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນ Semiconductor ແລະອຸດສາຫະກໍາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ

ເຮືອ Silicon Carbide ຕົ້ນຕໍແມ່ນໃຊ້ໃນເຕົາເຜົາການແຜ່ກະຈາຍ semiconductor ບ່ອນທີ່ມັນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນໂຄງສ້າງສະຫນັບສະຫນູນສໍາລັບ semiconductor wafers ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ. furnaces ເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອແນະນໍາ dopants ເຂົ້າໄປໃນ wafers, ປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງເຂົາເຈົ້າ, ແລະກະກຽມໃຫ້ເຂົາເຈົ້າສໍາລັບຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປຂອງການຜະລິດ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄວາມທົນທານ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີຂອງເຮືອ Silicon Carbide ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຫຼົ່ານີ້.

ນອກເຫນືອໄປຈາກການແຜ່ກະຈາຍ semiconductor, ເຮືອ Silicon Carbide ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆເຊັ່ນ photovoltaics ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ. ໃນການຜະລິດ photovoltaic, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປິ່ນປົວອຸນຫະພູມສູງຂອງ wafers ຊິລິໂຄນເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄຸນລັກສະນະທາງໄຟຟ້າ. ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, SiC Boats ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ລວມທັງການຜະລິດອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ຕ້ອງຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດ.