ເຮືອ Carbide SEMICOREX Silicon Carbide ແມ່ນຜູ້ຂົນສົ່ງ Wafer ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ອອກແບບມາສໍາລັບຂັ້ນຕອນການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງ semiconductor. ສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມຕັ້ງໃຈເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມທ່ຽງທໍາທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການເຮັດໃຫ້ມີແສງຊິລິໂຄນພາຍໃນທໍ່ເຕົາໄຟ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການທີ່ດີທີ່ສຸດ. *
ເຮືອທະເລ Carbide Semicorex Silicon ສະແດງສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ໃຫ້ພວກມັນທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ສຸດສໍາລັບຂະບວນການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ. ຄວາມຮ້ອນຊ shock ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງພວກເຂົາຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກຫຼືການຜິດປົກກະຕິ, ຮັບປະກັນການມີອາຍຸຍືນທີ່ດໍາເນີນງານດົນນານ. ສ່ວນປະກອບຂອງ SIC ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງກົນຈັກທີ່ດີກວ່າ, ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແມ່ນແຕ່ພາຍໃຕ້ຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ຄວາມຕ້ານທານແບບພິເສດນີ້ຕໍ່ຄວາມກົດດັນກົນຈັກຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການປົນເປື້ອນທີ່ຈະເກີດຂື້ນແລະການແຕກແຍກ, ປະກອບສ່ວນໃຫ້ແກ່ຜົນຜະລິດໃນຂະບວນການທີ່ສູງຂື້ນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ເຮືອ SIC ມີຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີທີ່ຍັງຄ້າງຄາ, ຍັງຄົງເຫຼືອທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບຂອງທາດອາຍທີ່ຈະໃຊ້ໃນການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍຂັ້ນຕອນ. ຄຸນລັກສະນະນີ້ປ້ອງກັນປະຕິກິລິຍາທີ່ບໍ່ຕ້ອງການເຊິ່ງສາມາດປະນີປະນອມຄວາມບໍລິສຸດທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດ.
ເຮືອສົ້ມ Carbide ແມ່ນຕົ້ນຕໍແມ່ນໃຊ້ໃນການຜຸພັງແລະກະຈາຍຄວາມວຸ້ນວາຍ, ບ່ອນທີ່ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກວ່າອຸນຫະພູມສູງແລະມີຄວາມສໍາຄັນ. ພວກເຂົາສະຫນັບສະຫນູນ wafers ໃນໄລຍະການຜຸພັງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະສ້າງຄວາມສະດວກໃນການຂັບລົດທີ່ເປັນເອກະພາບຜ່ານອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກມັນສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການເຊື່ອມຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງແລະການຮັກສາອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການສໍາຜັດກັບຄວາມຮ້ອນແກ່.
ເມື່ອປຽບທຽບກັບເຮືອ quartz ແບບດັ້ງເດີມແລະຮູບພາບຂອງກາຟິກ, ພືດຊິລິໂຄນໃຫ້ຄວາມທົນທານ, ມີອາຍຸຍືນ, ອາຍຸຍືນ, ແລະປະສິດຕິພາບ. ຄວາມສາມາດຂອງພວກເຂົາທີ່ຈະຕ້ານທານກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງແລະມີສານເຄມີໃນຂະນະທີ່ການປົນເປື້ອນເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນທາງເລືອກທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການຜະລິດ semiconduor ທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ. ດ້ວຍການສຸມໃສ່ຄຸນນະພາບແລະນະວັດຕະກໍາ, ເຮືອຊິລິໂຄນ Carbide ຂອງພວກເຮົາສົ່ງຜົນງານທີ່ດີກວ່າ, ຮັບປະກັນຜົນຜະລິດທີ່ສູງແລະການປຸງແຕ່ງ wafer ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ semiconductor ທົ່ວໂລກ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນສໍາລັບການຜະລິດເຕັກໂນໂລຢີຫຼືຮູບແບບການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີລັກສະນະນິຍົມ,, ເຮືອເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ການແກ້ໄຂທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການອຸດສາຫະກໍາທີ່ເຂັ້ມງວດ.
(1) ເຮືອທີ່ມີການກະທໍາແລະການປົກປ້ອງ: ເຮືອຊິລິໂຄນ Carbide Carbide ມີບັນດາວັດສະດຸ semiconductor ເຊັ່ນ: ສະລັອດຕິງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານກັບອຸປະກອນການກິນຂອງ Silicon Carbide.
(2) ເຮືອທີ່ເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບເອກະພາບ: The Carbide Carbide Carbide ຊ່ວຍໃຫ້ການຫລອກລວງພາຍໃນຈະມີຄວາມຮ້ອນສະຫວ່າງໃນຂະນະການບໍາບັດຄວາມຮ້ອນ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃນການຮັບປະກັນໃຫ້ອຸນຫະພູມແລະຕິກິຣິຍາຂອງແຕ່ລະສ່ວນຂອງ Wafer ຍັງຄົງສອດຄ່ອງໃນຂະບວນການຮັກສາຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດຂອງ wafer ແລະຄຸນນະພາບດີຂື້ນ.
ປະຈຸບັນມີສາມປະເພດຫຼັກຂອງCarbide Carbide Carbideວັດສະດຸ: sheeting ປະຕິກິລິຍາ, ຄວາມຜິດຂອງ sintering ທີ່ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນ, ແລະ sextering recrystallization. ໃນການນໍາໃຊ້ສ່ວນໃຫຍ່, ປະຕິກິລິຍາຕິກິຣິຍາເຮັດບາບ silicon carbide ແມ່ນສິນຄ້າທີ່ມີປະສິດຕິພາບດີແລະມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼາຍ. ເຮືອ SIC ທີ່ກໍານົດໄວ້ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ sinter ແລະປຸງແຕ່ງຊິ້ນສ່ວນຫຼາຍໆຫນ່ວຍກ່ອນ, ໃຫ້ໃຊ້ SIP ເພື່ອປະສົມເຄືອບໃນອຸນຫະພູມສູງ (ປະມານ 100um). ນັບຕັ້ງແຕ່ recrystallization ແມ່ນ porous, ຖ້າວ່າບໍ່ມີການເຄືອບ sic, ມັນຍັງຈະແນະນໍາສ່ວນຫນຶ່ງເຂົ້າໃນຂັ້ນຕອນ semiconductor ເຂົ້າໃນຂັ້ນຕອນ semiconductor. ປະເພດຂອງເຮືອ SIC ທີ່ recrystallized ທີ່ມີ cvd-sic coating ມີຂະບວນການຜະລິດທີ່ຍາວທີ່ສຸດແລະມີລາຄາແພງຫຼາຍ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບເຮືອ Graphite Coated Sic, CVD-sic-sic c gveddo Recrystallized SIC ມີບັນຫາທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັບ CTE.