ເຮືອບັນທຸກຊິລິໂຄນຄາໄບ

Semicorexເຮືອ cassette silicon carbideແມ່ນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້, ມີໂຄງສ້າງທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ຖື, ໂອນ, ແລະຈັດການ wafers semiconductor ຫຼາຍຢ່າງປອດໄພແລະຊັດເຈນ. ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆເພື່ອຮັບປະກັນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນແລະການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງທີ່ສອດຄ່ອງ.

ເລືອກວັດຖຸດິບຢ່າງລະມັດລະວັງ

ຜະລິດຢ່າງແນ່ນອນຈາກຝຸ່ນຊິລິໂຄນຄາໄບຊັ້ນລະດັບ semiconductor ໂດຍຜ່ານການ sintering ອຸນຫະພູມສູງ, Semicorex silicon carbide cassette ເຮືອມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້.

1.ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:ເນື້ອໃນ impurity ຂອງ substrate ໄດ້ຖືກຄວບຄຸມໃຫ້ຕ່ໍາກວ່າ 100 PPM, ແລະລະດັບ impurity ຂອງ.CVD silicon carbideການເຄືອບສາມາດບັນລຸຫນ້ອຍກວ່າ 1 PPM.

2.ຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້:Silicon carbide ceramic ໃຫ້ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ແລະມັນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຈາກອາຊິດສ່ວນໃຫຍ່ (ເຊັ່ນ: ອາຊິດ hydrochloric, ອາຊິດຊູນຟູຣິກ, ແລະອາຊິດ hydrofluoric), ເປັນດ່າງ (ເຊັ່ນ: ໂຊດາ caustic), ສານລະລາຍ, ແລະສື່ oxidizing.

3.ຄວາມສາມາດໃນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນພິເສດ:ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ເຮືອ cassette silicon carbide ສາມາດຮັກສາຄຸນສົມບັດທາງເຄມີແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງເຂົາເຈົ້າເຖິງແມ່ນວ່າໃນເວລາທີ່ເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກສໍາຜັດກັບສະພາບການເຮັດວຽກເປັນເວລາດົນນານຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງປະມານ 1250 ° C.

ໂຄງສ້າງວິສະວະກຳທີ່ຊັດເຈນ

1. ໂຄງສ້າງກອບແນວນອນ:ໂຄງສ້າງກອບແນວນອນຂອງເຮືອ Cassette Semicorex silicon carbide ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະກັບທໍ່ furnace ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕາມແນວນອນຢ່າງສົມບູນ.

2. ຊ່ອງສຽບຊ່ອງຫວ່າງເທົ່າກັນ:ປະກອບດ້ວຍຊ່ອງສຽບຊ່ອງຫວ່າງຈໍານວນຫລາຍ, ເຮືອ cassette Semicorex silicon carbide ສາມາດຍຶດ wafer ໄດ້ຢ່າງແຫນ້ນຫນາ, ເຊິ່ງສາມາດປ້ອງກັນຮອຍຂີດຂ່ວນ, ການຂັດແລະຄວາມເສຍຫາຍທີ່ບໍ່ຕ້ອງການທີ່ເກີດຈາກການໂຍກຍ້າຍຂອງ wafer, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ semiconductor ແລະຜົນຜະລິດຂອງ wafer.

3. ການອອກແບບຫຼາຍຊ່ອງ:ສະລັອດຕິງຫຼາຍອັນທີ່ອອກແບບມາເພື່ອບັນຈຸ wafers ຫຼາຍເຮັດໃຫ້ເຮືອ Cassette Semicorex silicon carbide ປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດຊຸດດຽວແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດໂດຍລວມ.

4. ສະຖາປັດຕະຍະກຳເປີດ:Semicorex silicon carbide cassette ເຮືອແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີສະຖາປັດຕະເປີດຄວາມຄິດ, ເຊິ່ງສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສເປັນເອກະພາບແລະການຕິດຕໍ່ຕິກິຣິຍາທີ່ພຽງພໍ, ຊຶ່ງເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບຫຼຸດຜ່ອນຂະບວນການທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງ.