Semicorex silicon carbide paddles ceramic cantilever ເປັນອົງປະກອບໂຄງສ້າງ cantilever ປະສິດທິພາບສູງ, ທີ່ຊັດເຈນແມ່ນຜະລິດຂອງ silicon carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ແຜ່ນກະເປົ໋າເຊລາມິກຊິລິຄອນຄາໄບ້ຂອງພວກເຮົາແມ່ນທາງອອກທີ່ເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບການບັນທຸກ ແລະການຂົນສົ່ງ wafers, ອອກແບບສະເພາະເພື່ອການຜະລິດ wafer semiconductor ທີ່ທັນສະໄໝ ແລະການຜະລິດຈຸລັງ photovoltaic.
Semicorexແຜ່ນ ແຜ່ນ silicon carbide ceramic cantilever paddlesແມ່ນຜະລິດໂດຍອຸນຫະພູມສູງ sintering ຮ່າງກາຍສີຂຽວພິມ 3D ຂັ້ນຕອນຫນຶ່ງ, ປະຕິບັດຕາມດ້ວຍການປິ່ນປົວການເຄືອບໂດຍຜ່ານການ deposition vapor ສານເຄມີ. ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດການຕົວຈິງ, paddles ຊິລິໂຄນ carbide ceramic ແມ່ນ actuated ໂດຍລະບົບອັດຕະໂນມັດກົນຈັກເພື່ອໂອນອົງປະກອບ wafer-carrying ເຂົ້າໄປໃນແລະອອກຈາກອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ເຊັ່ນ furnaces ຜຸພັງ, furnaces ການແຜ່ກະຈາຍ, furnace CVD, ແລະອື່ນໆ). ອົງປະກອບ silicon carbide ເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ concentricity ລະຫວ່າງ wafers ແລະທໍ່ furnace ໄດ້, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ແລະການລະງັບ vapor ສານເຄມີ.
1. ປະສິດທິພາບມົນລະພິດຕໍ່າ:
Semicorexຊິລິຄອນຄາໄບpaddles cantilever ceramic, ປຸງແຕ່ງດ້ວຍການປິ່ນປົວຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ສາມາດບັນລຸມາດຕະຖານທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນແລະອະນຸພາກ. matrices ຂອງເຂົາເຈົ້າມີເນື້ອໃນ impurity ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕ່ໍາກວ່າ 300PPM, ແລະເນື້ອໃນ impurity ຂອງ CVD silicon carbide coating ແມ່ນຕ່ໍາກວ່າ 5PPM.
2. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ:
ເນື່ອງຈາກການທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ silicon carbide, paddles Semicorex silicon carbide ceramic cantilever ສາມາດ prolonged ຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງຂອງເຂົາເຈົ້າຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1250 ° C, ໂດຍບໍ່ມີການ deforming, softening, ຫຼືຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກອຸນຫະພູມສູງ.
3. ຄວາມອາດສາມາດໂຫຼດພິເສດ:
Semicorex silicon carbide paddles ceramic cantilever ສະຫນອງຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດພິເສດທີ່ໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກແລະຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ເຫນືອກວ່າຂອງພວກເຂົາ (ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງແລະຄວາມແຂງ). ຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດພິເສດນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາສາມາດທົນທານຕໍ່ນ້ໍາຫນັກຂອງ wafers ຂະຫນາດໃຫຍ່ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງການປຸງແຕ່ງ wafer batch.
4. ຄວາມຕ້ານທານ corrosion ໂດດເດັ່ນ:
Semicorex silicon carbide paddles ceramic cantilever ສະແດງໃຫ້ເຫັນການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດກັບອົກຊີເຈນ, chlorine, ແລະສານ corrosive ອື່ນໆທີ່ມີຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແລະ photovoltaic. ການປະຕິບັດທີ່ເຫນືອກວ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ລຽບງ່າຍຂອງຂະບວນການຜະລິດໂດຍການຫຼີກເວັ້ນການສູນເສຍແລະເວລາທີ່ເກີດຈາກຄວາມເສຍຫາຍຂອງແຜ່ນ silicon carbide ceramic cantilever paddles.