Silicon Carbide Ceramic Wafer Boat

Semicorex ສະຫນອງເຮືອ wafer, pedestals, ແລະຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer ທີ່ກໍາຫນົດເອງສໍາລັບທັງຕັ້ງ / ຖັນແລະແນວນອນ. ພວກເຮົາເປັນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງຂອງແຜ່ນ silicon carbide ເຄືອບສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ເຮືອ wafer ceramic silicon carbide ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີແລະກວມເອົາສ່ວນໃຫຍ່ຂອງຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

Semicorex silicon carbide ceramic wafer ເຮືອ, ການແກ້ໄຂສຸດທ້າຍສໍາລັບການຈັດການ wafer ແລະການປົກປ້ອງໃນການຜະລິດ semiconductor.
ເຮືອ wafer ຊິລິໂຄນ carbide ceramic ຂອງພວກເຮົາແມ່ນຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງ silicon carbide (SiC) ທີ່ໃຊ້ວິທີການ CVD, ເຊິ່ງມີຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກແບບພິເສດໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມທົນທານຂອງ plasma ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນອະນຸພາກແລະສິ່ງປົນເປື້ອນສໍາລັບຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer ທີ່ມີຄວາມຈຸສູງ.

ຕົວກໍານົດການຂອງ silicon carbide ceramic wafer ເຮືອ

ຄຸນສົມບັດດ້ານວິຊາການ
ດັດຊະນີ	ໜ່ວຍ	ມູນຄ່າ
ຊື່ວັດສະດຸ		ປະຕິກິລິຍາ Sintered Silicon Carbide	Pressureless Sintered Silicon Carbide	Recrystallized Silicon Carbide
ອົງປະກອບ		RBSiC	SSiC	R-SiC
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
ແຮງບີບອັດ	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
ຄວາມແຂງ	ປຸ່ມ	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	W/m.k	95	120	23
ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ	10^-6.1/°C	5	4	4.7
ຄວາມຮ້ອນສະເພາະ	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
ອຸນຫະພູມສູງສຸດໃນອາກາດ	℃	1200	1500	1600
ໂມດູລສຕິກ	Gpa	360	410	240

ຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງ SSiC ແລະ RBSiC:

1. ຂະບວນການ Sintering ແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ. RBSiC ແມ່ນເພື່ອ infiltrate Si ຟຣີເຂົ້າໄປໃນ silicon carbide ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, SSiC ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍການຫົດຕົວທໍາມະຊາດຢູ່ທີ່ 2100 ອົງສາ.

2. SSiC ມີພື້ນຜິວທີ່ລຽບກວ່າ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ສູງຂຶ້ນແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ສູງຂຶ້ນ, ສໍາລັບການຜະນຶກບາງຢ່າງທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການດ້ານຫນ້າຢ່າງເຂັ້ມງວດ, SSiC ຈະດີກວ່າ.

3. ເວລາທີ່ໃຊ້ທີ່ແຕກຕ່າງກັນພາຍໃຕ້ PH ແລະອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, SSiC ແມ່ນຍາວກວ່າ RBSiC

ຄຸນນະສົມບັດຂອງ Silicon Carbide Ceramic Wafer Boat

ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່າ & ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ
Fine SiC crystal coated ສໍາລັບຫນ້າກ້ຽງ
ທົນທານສູງຕໍ່ການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີ
ວັດສະດຸຖືກອອກແບບເພື່ອບໍ່ໃຫ້ຮອຍແຕກ ແລະ ຮອຍແຕກ.