Silicon Carbide Ceramic Wafer Boats

ການຄັດເລືອກວັດສະດຸຊັ້ນນໍາ

ຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງ Semicorex silicon carbide ceramicເຮືອ waferແມ່ນມາຈາກວັດຖຸດິບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ຜະລິດຈາກວັດສະດຸ SiSiC ເກຣດ semiconductor ແລະປົກຄຸມດ້ວຍສານເຄືອບ CVD SiC, Silicon carbide ceramic wafer boats ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຕໍ່ໄປນີ້.

1.Ultra-ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ບໍ່ເສຍຄ່າຈາກການປ່ອຍ impurity ໂລຫະ

ຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ: ＜100 ppm

ຄວາມເປື້ອນຂອງສານເຄືອບ CVD SiC: ＜1 ppm

2.Superior ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ

ຊິລິໂຄນຄາໄບ ceramic wafer ເຮືອສາມາດປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນສະພາບອຸນຫະພູມສູງ 1250 ℃, ສະຫນອງການຜິດປົກກະຕິຫນ້ອຍທີ່ສຸດແລະການຕໍ່ຕ້ານ creep.

3.ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ

ຊິລິໂຄນຄາໄບມີຄວາມແຂງສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ເຮັດໃຫ້ເຮືອ wafer ເຊລາມິກ Semicorex silicon carbide ສາມາດຕ້ານການຂູດ, ການຂັດ, ແລະຄວາມເສຍຫາຍ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປະຕິບັດໄດ້ດີໃນໄລຍະການດໍາເນີນງານໃນໄລຍະຍາວແລະທົນທານຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍ.

4.Exceptional corrosion resistance

ເນື່ອງຈາກວ່າ silicon carbide ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຈາກອາຊິດທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະເປັນດ່າງ, Semicorex silicon carbide ceramic wafer ເຮືອສາມາດຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງຕົນແລະປະສິດທິພາບການເຮັດວຽກເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ມີການກັດກ່ອນສູງ.

ການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ດີທີ່ສຸດ

ເຮືອ wafer ceramic Semicorex silicon carbide ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer batch, ໂຄງສ້າງໂຄງສ້າງທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງພວກເຂົາຮັບປະກັນການສະຫນັບສະຫນູນ batch wafer ທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ສອດຄ່ອງສໍາລັບແຕ່ລະ wafer.

ໂຄງສ້າງສະຫນັບສະຫນູນແນວຕັ້ງ 1.3-post

ໂຄງສ້າງແນວຕັ້ງຂອງເຮືອ wafer ceramic Semicorex silicon carbide ຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຂົາສາມາດຈັບຄູ່ກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ furnace ແນວຕັ້ງໄດ້ seamlessly. ດ້ວຍໂຄງສ້າງນີ້, ເຮືອໂບເຊລາມິກ emicorex silicon carbide ສາມາດອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການໄຫຼວຽນຂອງອາຍແກັສໃນຂະບວນການ ແລະ ການແຈກຢາຍພະລັງງານຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບພາຍໃນເຕົາໄຟທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

2.ປ່ຽງສະລັອດຕິງແຈກຢາຍຢ່າງເປັນເອກະພາບ

ເຮືອ wafer ceramic Semicorex silicon carbide ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີເຄື່ອງໂມ້ທີ່ມີເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຫຼາຍຈຸດຢູ່ເທິງເສົາສະຫນັບສະຫນູນຂອງພວກເຂົາ. pinches ສະລັອດຕິງຊ່ອງຂອງເຂົາເຈົ້າເທົ່າທຽມກັນບັນລຸຊ່ອງສຽບທີ່ເຫມາະສົມ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເຮືອ wafer ຊິລິຄອນ carbide ceramics ຮັບປະກັນ wafers semiconductor ຢ່າງຫນັກແຫນ້ນ, ດັ່ງນັ້ນການປະກອບສ່ວນໃນການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຜົນໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນ wafer.

ດ້ວຍການປະຕິບັດແລະຫນ້າທີ່ທີ່ດີເລີດຫຼາຍ, Semicorex silicon carbide ceramic wafer boats ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຫຼັກຂອງການຜະລິດ semiconductor wafer, ເຊັ່ນການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຝັງຕົວຂອງ ion, ແລະການຫມູນວຽນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.