ຊິລິໂຄນຄາບິດ Chuck

ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງ Semicorex Silicon Carbide Chuck ແມ່ນການຍຶດແລະສະຖຽນລະພາບຂອງຊິລິໂຄນ wafers ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ເຊັ່ນ: ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), etching, ແລະ lithography.Silicon Carbide Chuck ໄດ້ຮັບລາງວັນສໍາລັບຄຸນສົມບັດວັດສະດຸພິເສດຂອງພວກເຂົາ, ເຊິ່ງເສີມຂະຫຍາຍຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor.

Silicon Carbide chuck ສະຫນອງຜົນປະໂຫຍດຫຼາຍອັນເນື່ອງມາຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນປະສິດທິພາບແລະການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນການ gradients ຄວາມຮ້ອນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງ warping wafer ແລະຂໍ້ບົກພ່ອງໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງ. ການເພີ່ມຄວາມແຂງແກ່ນແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຊັດເຈນຂອງ wafers, ສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງໃນ photolithography ແລະຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນອື່ນໆ. ນອກຈາກນັ້ນ, Silicon Carbide Chuck ສະແດງໃຫ້ເຫັນການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນ inert ກັບທາດອາຍຜິດ corrosive ແລະສານເຄມີທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດ semiconductor, ດັ່ງນັ້ນການຍືດອາຍຸຂອງ chuck ແລະຮັກສາປະສິດທິພາບໃນໄລຍະການນໍາໃຊ້ຊ້ໍາຊ້ອນ. ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງພວກເຂົາຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສູງຂອງຊິລິໂຄນຄາໄບໃຫ້ insulation ໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ປ້ອງກັນການແຊກແຊງໄຟຟ້າແລະຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ຖືກ fabricated.

Chemical Vapor Deposition (CVD): Silicon Carbide Chuck ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຖື wafers ໃນລະຫວ່າງການຝາກຂອງຮູບເງົາບາງໆ, ສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຮ້ອນ.

ຂະບວນການ etching: ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີຂອງເຂົາເຈົ້າແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງເຮັດໃຫ້ Silicon Carbide Chuck ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນ reactive ion etching (RIE) ແລະເຕັກນິກການ etching ອື່ນໆ.

Photolithography: ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງກົນຈັກແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ Silicon Carbide Chuck ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງແລະຈຸດສຸມຂອງ photomasks ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການສໍາຜັດ.

ການກວດສອບແລະການທົດສອບ Wafer: Silicon Carbide Chuck ສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະສອດຄ່ອງຄວາມຮ້ອນສໍາລັບວິທີການກວດກາ optical ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ.

Silicon Carbide Chuck ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການກ້າວຫນ້າທາງດ້ານເທກໂນໂລຍີ semiconductor ໂດຍການສະຫນອງແພລະຕະຟອມທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ແລະປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer. ການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງເຂົາເຈົ້າຂອງການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະ insulation ໄຟຟ້າເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ປະກອບສ່ວນໃຫ້ຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນແລະອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຫຼາຍ.