ຖັງ Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການຜະລິດ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ຄຸນສົມບັດການນໍາຄວາມຮ້ອນແລະການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ພິເສດຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ LPE ແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ.
ໃນເວລາທີ່ມັນມາກັບການຜະລິດ semiconductor, Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel ແມ່ນທາງເລືອກອັນດັບຫນຶ່ງສໍາລັບປະສິດທິພາບພິເສດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື. ການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຂອງມັນແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍແລະການປົກປ້ອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive ທີ່ທ້າທາຍທີ່ສຸດ.
ຖັງຢາງກາໄບທີ່ເຄືອບດ້ວຍ Silicon Carbide ຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນການລະບາຍຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ. ມັນປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືສິ່ງສົກກະປົກຈາກການແຜ່ກະຈາຍເຂົ້າໄປໃນ wafer, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດ. Semicorex ເປັນຜູ້ຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະຜູ້ສະຫນອງ SiC Coated Graphite Susceptor ໃນປະເທດຈີນ, ແລະຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
ພາລາມິເຕີຂອງ Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC |
||
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD |
||
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ |
ໄລຍະ FCC β |
|
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
g/ຊມ ³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ |
% |
99.99995 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ຄຸນນະສົມບັດຂອງ Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel
- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.
- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.
- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.
- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.
- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.