ເຮືອຊິລິໂຄນແນວຕັ້ງ

Semicorex Vertical Silicon Boat ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ, ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer. ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຖື wafers ຊິລິໂຄນຕາມແນວຕັ້ງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນແລະການແຜ່ກະຈາຍ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດ, ການຈັດການທີ່ຊັດເຈນ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີກວ່າ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຄຸນນະພາບຂອງ wafer ທີ່ສອດຄ່ອງ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການ Semiconductor

ເຮືອຊິລິໂຄນແນວຕັ້ງແມ່ນໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຜຸພັງ, ການລະເຫີຍ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນເຫຼົ່ານີ້, ການເປີດເຜີຍເອກະພາບຂອງ wafers ຊິລິໂຄນກັບຄວາມຮ້ອນແລະທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການປະກອບເປັນຊັ້ນແລະໂຄງສ້າງທີ່ສໍາຄັນໃນຫນ້າດິນ wafer. ໂດຍການຖື wafers ຢ່າງປອດໄພໃນທິດທາງຕັ້ງ, ເຮືອຊິລິໂຄນອໍານວຍຄວາມສະດວກເຖິງແມ່ນວ່າການໄຫຼຂອງອາຍແກັສແລະການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມໃນທົ່ວ wafers ທັງຫມົດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງແລະການປັບປຸງຜົນຜະລິດໂດຍລວມ.

Oxidation ແລະການແຜ່ກະຈາຍ:ເຮືອຊິລິໂຄນແນວຕັ້ງມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະບວນການຜຸພັງ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ຂັ້ນຕອນເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກ່ຽວກັບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສແລະອຸນຫະພູມເພື່ອສ້າງເປັນຊັ້ນ oxide ແລະ dope wafers ກັບ impurities ສໍາລັບ conductivity ໄຟຟ້າ. ການອອກແບບຂອງເຮືອຮັບປະກັນການເປີດເຜີຍທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.

ການບີບອັດ:ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ຂະ​ບວນ​ການ annealing, wafers ແມ່ນ​ຂຶ້ນ​ກັບ​ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ການ​ໃຫ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ແລະ​ຮອບ​ວຽນ​ເຮັດ​ຄວາມ​ເຢັນ​ເພື່ອ​ບັນ​ເທົາ​ຄວາມ​ກົດ​ດັນ, ສ້ອມ​ແປງ​ຄວາມ​ເສຍ​ຫາຍ, ຫຼື​ກະ​ຕຸ້ນ dopants. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນຂອງເຮືອຊິລິໂຄນແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີເລີດຊ່ວຍຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງວົງຈອນທີ່ຕ້ອງການເຫຼົ່ານີ້.

ຂະບວນການ CVD ແລະ ALD:ສໍາລັບຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນການລະບາຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ແລະການລະລາຍຊັ້ນປະລໍາມະນູ (ALD), ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການສ້າງຕັ້ງຂອງຮູບເງົາບາງໆເທິງຫນ້າດິນ wafer, Vertical Silicon Boat ສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການເກັບຮັກສາວັດສະດຸທີ່ສອດຄ່ອງ. ອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸຊັ້ນທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ.

ຄຸນນະສົມບັດແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບ

The Vertical Silicon Boat ສະເຫນີຄຸນນະສົມບັດຈໍານວນຫລາຍທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ:

• ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນສູງ: ກໍ່ສ້າງຈາກຊິລິໂຄນຫຼືຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຮືອສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງໂດຍບໍ່ມີການທໍາລາຍຫຼືການເຊື່ອມໂຊມ. ຄຸນສົມບັດນີ້ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວວົງຈອນຂະບວນການຫຼາຍ.
• ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຕໍ່າ: ການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະເຕັກນິກການຜະລິດແບບພິເສດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຜະລິດອະນຸພາກຫຼືສານເຄມີປົນເປື້ອນ, ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ທີ່ເຂັ້ມງວດ.
• ສະຫນັບສະຫນູນ Wafer ທີ່ດີທີ່ສຸດ: ການອອກແບບຂອງເຮືອສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຊັດເຈນແລະປອດໄພສໍາລັບ wafers ຊິລິໂຄນ, ປ້ອງກັນ warping ຫຼື slippage ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ. ທິດທາງແນວຕັ້ງເສີມຂະຫຍາຍນະໂຍບາຍດ້ານການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ຮັບປະກັນການປິ່ນປົວເອກະພາບຂອງ wafers ທັງຫມົດໃນ batch.
• ຄວາມທົນທານແລະຄວາມຍືນຍາວ: ວິສະວະກໍາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຊ້ໍາຊ້ອນ, ເຮືອ Silicon Vertical ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານພິເສດຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ, ການຜຸພັງ, ແລະການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາ downtime ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນ.
• ການປັບແຕ່ງໄດ້: ຂະຫນາດຂອງເຮືອແລະຄວາມອາດສາມາດຂອງ wafer ສາມາດຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດສະເພາະ, ອະນຸຍາດໃຫ້ປະສົມປະສານ seamless ເຂົ້າໄປໃນລະບົບການປຸງແຕ່ງຕ່າງໆ.

Semicorex Vertical Silicon Boat ແມ່ນພື້ນຖານຂອງການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ, ສະເຫນີການປະຕິບັດທີ່ບໍ່ມີການປຽບທຽບໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ wafer ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ການອອກແບບທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງມັນ, ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ມັກສໍາລັບຜູ້ຜະລິດທີ່ມີຈຸດປະສົງເພື່ອບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍາແລະປະສິດທິພາບໃນການດໍາເນີນງານຂອງພວກເຂົາ. ໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຈັດການ wafer ແລະການປິ່ນປົວ, ເຮືອ Silicon Vertical Boat ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການເຮັດໃຫ້ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມທີ່ມີອໍານາດການປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຢີໃນປະຈຸບັນ.