ເຮືອ Wafer

ເຮືອ Semicorex Wafer ຖືກອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງຂອງເຕົາເຜົາກະຈາຍ, ເຊັ່ນອຸນຫະພູມສູງ, ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ, ແລະຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການບັນຈຸເຂົ້າຮຽນ wafer ທີ່ຊັດເຈນໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ.

ເຮືອ Wafer ແມ່ນເຮັດຈາກເຊລາມິກ Silicon Carbide, ຖືກເລືອກສໍາລັບຄຸນສົມບັດພິເສດຂອງມັນ. Silicon Carbide ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມເຖິງແມ່ນວ່າໃນທົ່ວ wafers ໃນລະຫວ່າງການແຜ່ກະຈາຍ. ຄວາມເປັນເອກະພາບນີ້ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງ wafers ແລະຮັບປະກັນລະດັບ doping ທີ່ສອດຄ່ອງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ກໍາລັງຜະລິດ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຈຸດລະລາຍສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງ Silicon Carbide ຊ່ວຍໃຫ້ເຮືອ Wafer ເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການໃນຂະບວນການກະຈາຍ, ມັກຈະເກີນ 1000 ° C, ໂດຍບໍ່ມີການທໍາລາຍຫຼືບິດເບືອນ.

ຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຂອງ Silicon Carbide ceramic ໃນ Wafer Boat ແມ່ນການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດ. ຄວາມຕ້ານທານນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນການຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດຂອງ wafers semiconductor, ເນື່ອງຈາກວ່າການປົນເປື້ອນໃດໆສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມບົກພ່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ, ທໍາລາຍການປະຕິບັດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ.

ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງເຮືອ Wafer ແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງໃນການອອກແບບຂອງມັນ. ການອອກແບບຕ້ອງຮັບປະກັນວ່າ wafers ຖືກຈັດໃສ່ຢ່າງປອດໄພ, ມີຊ່ອງຫວ່າງທີ່ຊັດເຈນເພື່ອອະນຸຍາດໃຫ້ມີການສໍາຜັດກັບທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາ. ຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸ doping ເອກະພາບໃນທົ່ວ wafers ທັງຫມົດ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບໂດຍກົງກັບລັກສະນະໄຟຟ້າຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

ນອກເຫນືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນແລະສານເຄມີຂອງມັນ, Silicon Carbide ceramic ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນມິຕິລະດັບທີ່ດີເລີດ, ສໍາຄັນສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມຫມັ້ນຄົງນີ້ຮັບປະກັນວ່າ wafers ຍັງຄົງສອດຄ່ອງຢ່າງສົມບູນ, ອະນຸຍາດໃຫ້ມີການແຜ່ກະຈາຍຂອງ dopants ທີ່ຖືກຕ້ອງແລະເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າດິນຂອງແຕ່ລະ wafer, ນໍາໄປສູ່ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ເຮືອ Semicorex Wafer ທີ່ເຮັດຈາກ Silicon Carbide ceramic ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການກະຈາຍຂອງ semiconductor. ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບເງື່ອນໄຂທີ່ຕ້ອງການຂອງການຜະລິດ semiconductor. ການນໍາໃຊ້ຂອງມັນບໍ່ພຽງແຕ່ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ, ແຕ່ຍັງປະກອບສ່ວນກັບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງການຜະລິດ semiconductor.