CVD SiC coated susceptors ເຮັດວຽກເປັນຜູ້ຖື wafer ພິເສດໃນຂະບວນການ Deposition Vapor ເຄມີຂອງໂລຫະ - ອິນຊີ (MOCVD), ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor. ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງ wafers ໃນໄລຍະ epitaxy ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງ, ເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ cor......
ອ່ານຕື່ມ